等离子体清洗技术的清洗原理、清洗类型、清洗设备及清 洗特点，分析了等离子体清洗技术的发展现状，等离子，着重介绍了等离子体清洗技术在航空航天制造业中铝合金表面涂装前处理、电连接器涂胶前处理、复合材料表面处理 和芳纶制件表面处理等应用，并分析了其在航空航天领域的应用前景。

随着微电子技术及工艺的飞速发展，湿法清洗技术越来越暴露出其一定的局限性。然而，干法清洗技术不但能够避免湿法清洗带来的环境污染问题，射频等离子，同时也使生产效率也大大得到了****。通过大量的实践，等离子体清洗技术在干法清洗中优势非常明显。

等离子体是指处于电离状态的气态物质，其中带负电荷的粒子（电子、负离子）数等于带正电荷的粒子（正离子）数。通常与物质固态、液态和气态并列，称为物质第四态。通过气体放电或加热的办法，从外界获得足够能量，使气体分子或原子中轨道所束缚的电子变为自由电子，便可形成等离子体。

等离子体在化学工业中的*应用是在20世纪50年代以后。联邦德国赫斯和赫司特化工厂于50年代成功地从*和其他烃类在氢等离子体中热解制取yi炔。此后，美国、苏联和日本都相应地建造了等离子体制yi炔的实验工厂。此法流程简单，对原料适应性强，但电耗偏高，限制了它的大规模推广。

等离子体清洗机理

等离子体技术在本世纪60年代起就开始应用于化学合成、薄膜制备、表面处理和精细化工等领域，在大规模或超大规模集成电路工艺干法化、低温化方面，等离子机，近年来也开发应用了等离子体聚合、等离子体蚀刻、等离子体灰化及等离子体阳****氧化等全干法工艺技术。等离子清洗技术也是工艺干法化的进步成果之一。

与湿法清洗不同，等离子清洗的机理是依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”达到去除物体表面污渍的目的。从目前各类清洗方法来看，可能等离子体清洗也是所有清洗方法中****为*的剥离式的清洗。