一、 名称:石英舟上下料机 型号: QT-100H-SYSX
二、 数量:一台
三、 工艺
1.目的:将石英舟内的硅片通过双吸片机构吸取出,然后装进塑料篮具内。以供下一道工序使用。随后设备将满篮塑料篮具内硅片吸起,每两片硅片背靠背,然后放入石英舟中,以供下一工序使用。
2.适用尺寸:156×156 (±0.5mm)厚度为160~280μm的方形硅片。
3.操作方式:全自动
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