一、设备名称
设备名称：兆声波清洗机
整机尺寸：具体尺寸根据实际图纸确定
二、设备槪況
尺寸(参考)：约3500（L）×1350 (W)×2300mm (H)
清洗件规格：4” 2篮50片
槽体尺寸：200mm*400mm*260mm
槽数：6个
三、应用领域
半导体、太阳能、液晶等
四、设备稳定性
1、清洗良品率≥99%
2、≥0.2um颗粒少于10颗
五、产品简介
1、设备机架采用不锈钢骨架外包PP板，耐酸碱腐蚀；
2、电气区设置在设备后上部，与湿区和管路区完全隔离；
3、槽体材料选用耐相应溶液腐蚀的材料；
4、机械手探入湿区部分的零部件表面喷氟或套PFA管处理；
5、设备排风采用顶部百级FFU送新风，台面下抽风，每套工艺清洗槽都有自动开闭的槽盖，槽盖下有单独的抽风装置，排风口处设有自动调节风门，即上电打开风门，断电关闭风门，具有风压检测功能，以及氮气、压缩空气压力报警功能；
6、溶液槽中药液自动供液按设定好比例混合，并可在工作过程中根据设定补液；客户根据自身工艺条件自行设定；
7、台面为多孔结构，便于台面上冲洗水、液的排出；
8、操作面设有透明PVC安全门；
9、设备设有漏电、急停、液位、过温、安全门开、漏液、超时等保护和报警装置，保证设备的安全可靠。