PA 干燥系统
适用于****尺寸300mm晶圆的干燥技术
优点
NID™干燥系统利用IPA和N2雾化分配,以及晶圆与水脱离时形成了表面张力干燥的技术
适用于****尺寸300mm晶圆的干燥技术
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司(简称CSE)成立于2008年3月,总****4500万元; 目前已形成湿法清洗系统、刻蚀系统、CDS系统、尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品; 广泛应用于大规模集成电路电力电子器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域。
公司注重持续*和技术改进,目前已拥有发明专利技术18项,并多次获得*高新技术产品认定证书,肯定了企业的整体实力。 10多年以来始终为半导体和太阳能行业提供*的*的湿法工艺解决方案; 以技术*为支撑,以精细管理做保证,以****的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖