伯东企业（上海）有限公司

主营：德国pfeiffer真空设备,美国polycold冷冻机,美国intest 高低温机

上海伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 100

面议中国上海浦东

产品属性

材质:: 不锈钢

品牌:: 美国KRI

型号:: KDC 100

因产品配置不同，价格货期需要电议，图片仅供参考，一切以实际合同为准。

KRI 考夫曼离子源 KDC 100

KRI 考夫曼离子源 KDC 100
上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 中型规格栅离子源, 广泛加装在薄膜沉积大批量生产设备中, 考夫曼离子源 KDC 100 采用双阴灯丝和自对准栅标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 400 mA.

KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数：

型号	KDC 100
供电	DC magnetic confinement
- 阴灯丝	2
- 阳电压	0-100V DC
电子束	OptiBeam™
- 栅	, 自对准
-栅直径	12 cm
中和器	灯丝
电源控制	KSC 1212
配置	-
- 阴中和器	Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
- 安装	移动或快速法兰
- 高度	9.25'
- 直径	7.6'
- 离子束	聚焦平行散设
-加工材料	金属电介质半导体
-工艺气体	惰性活性混合
-安装距离	8-36”
- 自动控制	控制4种气体

* 可选: 可调角度的支架

KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域：
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE

若您需要进一步的了解考夫曼离子源, 请联络上海伯东邓女士，分机134

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