天津吉兆源科技有限公司

主营:射频电源、中频电源、自动匹配器、双频匹配器、射频离子源、ESC电源、滤波器、传感器等

射频电源匹配器一体机-射频电源供应商

¥99999999元/件 中国 天津 滨海

产品属性

产品规格:
300W
输出功率:
0-300W
工作稳定度:
≤±0.5%
输出频率:
13.56MHz
频率信号:
标准正弦波
品牌:
其他
加工定制:
型号:
13.56MHz射频电源匹配器一体机
类型:
射频电源
输入电压:
AC180-250V

产品性能

该电源为专利产品,通过特殊的射频隔离设计,将射频电源与自动匹配器集为一体,减少射频系统体积。输出功率300W,频率13.56MHz,标准正弦波。大屏幕液晶显示:设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数。

 

应用对象

该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括:磁控溅射、等离子清洗、PECVD等小型容性射频系统。

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