天津吉兆源科技有限公司
主营：射频电源、中频电源、自动匹配器、双频匹配器、射频离子源、ESC电源、滤波器、传感器等
2MHz射频电源-射频电源供应商
￥99999999元/件
中国 天津 滨海
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产品属性
- 工作稳定度:
- ≤±0.5%
- 输出频率:
- 2MHz
- 频率信号:
- 标准正弦波
- 输出阻:
- 50Ω
- 模拟控制接口:
- DB15
- 品牌:
- 其他
- 加工定制:
- 是
- 型号:
- 2MHz射频电源
- 类型:
- 射频电源
- 输入电压:
- AC180-250V
产品性能
该射频电源采用E类放大器，实现高可靠性。大的冗余设计，使其具有长期满功率输出能力。特殊的滤波网络，实现波形的纯净。谐波性能优越，可承受开路、短路等端冲击。大屏幕液晶显示：设定功率、入射功率、反射功率、状态等参数
产品性能
该电源可以作为射频驱动等离子体系统的电源。应用对象包括：刻蚀、PECVD、磁控溅射、ICP等 。
控制方式
该电源控制方式多样：RS232、RS485、DeviceNet和模拟口等方式。
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