碳化硅两个常用的基本品种
恒发碳化硅管厂家介绍:碳化硅有黑碳化硅和绿碳化硅两个常用的基本品种,都属α-SiC。
1.黑碳化硅含SiC约98.5%,其韧性高于绿碳化硅,大多用于加工*张强度低的材料,如玻璃、陶瓷、石材、耐火材料、铸铁和有色金属等。
2.绿碳化硅含SiC99%以上,自锐性好,大多用于加工硬质合金、钛合金和光学玻璃,也用于珩磨汽缸套和精磨高速刀具。此外还有立方碳化硅,它是以特殊工艺制取的黄绿色晶体,用以制作的磨具适于轴承的超精加工,可使表面粗糙度从Ra32~0.16微米一次加工到Ra0.04~0.02微米。
中空、闭孔碳化硅陶瓷零部件制备技术——碳化硅陶瓷在线反应连接工艺
随着航空航天遥感领域、光学探测领域及IC制造业的不断发展,其需求的*碳化硅零部件要求越来越严格,零件结构越来越复杂。如反射镜为了****零件刚性,减少热环境变化对镜面的影响,碳化硅喷嘴包,同以往开孔类反射镜不同,目前大量反射镜被设计成中闭孔结构,另外为了解决反射镜同其驱动机构的连接问题,直接将连接结构设计到反射镜背部,形成结构功能一体化碳化硅反射镜。又如IC****制造装备中的光刻机用碳化硅陶瓷部件,需要满足*精度****高(小于10nm)、运动加速度大(大于10g)、*变形能力强等特点,这就要求成品部件具有优异的刚性结构、良好的尺寸精度和复杂的中空轻量化结构,传统陶瓷生产工艺无法实现此类产品的制备,因此需要开展大尺寸、复杂外形、中空轻量化结构碳化硅陶瓷零部件制备工艺研究。
中国建材总院陶瓷院非氧化物实验室在前期凝胶注模成型工艺的基础上,求购碳化硅喷嘴,开发了一种新型中空结构碳化硅陶瓷部件制备工艺,该工艺将中空陶瓷部件拆分,设计成2个或多个陶瓷部件,采用凝胶注模成型工艺及陶瓷素坯加工工艺分别制备不同部件,然后采用的陶瓷粘结剂将多个分体部件粘结,碳化硅喷嘴,经过高温烧结后形成****终的中空陶瓷部件,碳化硅喷嘴厂家,粘结层厚度在20μm以下,粘结强度同陶瓷本体强度相当。通过该工艺可有效解决中空结构陶瓷零件制备。中国建材总院采用该技术制备的结构功能一体化碳化硅反射镜、光刻机用中空碳化硅陶瓷零部件在用户单位获得应用并取良好使用效果。国内未见此类结构功能一体化反射镜及中空类碳化硅陶瓷零部件制备的相关报道,该技术国内,达到国际同类产品制备水平。图3所示为制备的相关产品图片。