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发布时间:2019-10-12240次浏览

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磁控溅射光学镀膜在国内还是个新词汇。早的磁控溅射光学镀膜机出现在上个世纪末的北美(美国和加拿大),镀制出来的光学膜就是AR膜(减反光膜)。随着技术的进步,几十层的光学膜系被磁控溅射镀膜机镀制出来。在上世纪末光通讯大发展时期,美国的一家公司使用磁控溅射镀膜机镀制出100G的DWDM滤光片,
目前这种镀膜机还在用于CWDM和光通讯截止滤光片的生产。在被称作光学镀膜金字塔尖的光通讯领域的成功应用足以说明磁控溅射光学镀膜技术的强大实力和优势!目前复杂的光学薄膜产品制备在欧美,其中美国以溅射技术为主,包括离子束溅射和磁控溅射,几乎不采用电子束蒸发技术;欧洲则是溅射和电子束蒸发各半,电子束蒸发几乎都辅助以功率强大的等离子源。
亚洲和中国的光学薄膜制备仍然以电子束蒸发为主,一些光学薄膜制备企业已开始采用溅射技术,包括离子束溅射和磁控溅射,如中国的昂纳通讯、中南集团、永新光学等。2013年5月23-25即将在深圳举办的“第六届深圳国际触摸屏技术暨设备展览会”上,深圳三束镀膜技术公司将重点推介“旋转工件架上在线石英晶体膜厚测控技术”,此技术是三束公司的一项核心专利技术,对磁控溅射镀膜机意义重大。
三束公司从2007年开始研发了磁控溅射光学镀膜机,历时五年,完成了溅射系统、离子源氧化系统、高速工件驱动系统、膜厚测控系统、操作系统和镀膜机整体结构的研发和设计。公司磁控溅射光学镀膜机产品具体分为两个方向,一个是滤光片级SAOS-1680系列,每炉镀膜面积在1.5~3平方米,另一个是AR级的SWOS-1800系列,每炉镀膜面积为13平方米。SWOS-1800系列就是在这里推介给,其主要针对电容式触摸屏盖板玻璃AR、AS膜,SENSOR消反光镀膜以及大面积的柔性基材的AR镀膜(如偏光片AR+AS镀膜和PFT基材AR+AS贴膜镀膜)的镀膜加工生产。
工件架上在线石英晶体膜厚测控技术三束公司自主研发了旋转工件架上在线石英晶体膜厚测控技术,解决了工件架上膜厚直接测量的重大难题,也为三束公司磁控溅射光学镀膜机系列产品的实现奠定了基础。

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