气体质量流量单位一般以sccm（StandardCubicCentimeterperMinute，每分钟标准毫升）和slm（StandardLiterperMinute，每分钟标准升）来表示。这意味着，气体质量流量控制器，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为：气压—101325Pa(760mmHg);温度—0℃(27*K)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min之处。

对多数用户而言，体积流量的表示方法很符合习惯﹑便于使用，但也有用户需要知道单位时间内流过介质的质量（如g/min），这个要求是很容易实现的。因为标准状态下的气体密度是一个常数，可以方便地查到，因而简单地做一个乘法（以密度乘以若干slm）即可实现。所以说，在标准状态下的体积流量就等同于质量流量。

需要注意的是，被全世界质量流量控制器厂商共同采用的sccm/slm这种质量流量单位，不符合国内计量标准的常用的质量流量的国际单位（Kg/min），但是它符合国际半导体协会制定的SEMI。

热式气体质量流量计是通过测量气体流经流量计内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，流量控制器，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体质量流量，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。

采用热式原理测量的气体质量流量控制器具有压损低、流量范围度大、*、高重复性和高可靠性等特点。

　流量控制器就是根据流量来指令系统的开关的。给流量控制器设定上限或者下限，当流量达到此次限定值时，流量控制器发出信号或报警，系统将运行或停止。一般要求流量的系统会采用流量控制器。根据系统的不同，以及流量控制器型号等因素的不同，使用的地方也不同，要根据具体情况而定。

　流量控制器的工作原理：流量控制器是利用探测头温度变化的原理设计。在探头内置发热传感器及感热传感器，并与介质接触。测量时，发热传感器发出恒定的热量，当管道内没有介质流动，感热传感器接收到的热量是一个恒定值，气体流量控制器，当有介质流动时，感热传感器所接收到的热量将随介质的流速变化而变化，数字流量控制器，感热传感器将这温差信号转化成电信号，再经过电路转换为对应的接点信号或模拟量信号。

　流量控制器可对管道中的液体流动情况进行实时监控，提供开关量输出，并采用6个LED实时显示流体流速状态，实现下列监控功能：1.介质流动，降低/提高流速；2.介质存在/不存在；3.介质流动/静止；可用于监控管道内流体流速大小、断流监测或防止泵的空转。广泛应用于各行业需要对管道内流体流速监控或在液体流量故障时保护重要设备的场合。