热式气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度；

       另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。

      容积式流量计，又称定排量流量计，简称PD流量计，在流量仪表中是精度*gao的一类。它利用机械测量元件把流体连续不断地分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复地充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积总量。          

      容积式流量计按其测量元件分类：有椭圆齿轮流量计、旋转活塞流量计、往复活塞流量计、圆盘流量计、湿式气体计及膜盒式气体计、液封转筒式流量计等。5 r6 P8 @9 |6 D9 o' k9 n% 。          

      主要优点：(1)计量精度高；(2)安装管道条件对计量精度没有影响；(3)可用于高粘度液体的测量；(4)范围度宽；(5)直读式仪表无需外部能源可直接获得累计，总量，清晰明了，操作简便。7 W4 v! R; {5 g' b3 m/ i; n          

      主要缺点：(1)结果复杂，体积庞大；(2)被测介质种类、口径、介质工作状态局限性较大；(3)不适用于高、低温场合；(4)大部分仪表只适用于洁净单相流体；(5)产生噪声及振动 

     质量流量控制器（Mass Flow Co*oller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。  

     S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚****等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；*；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。  S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。