FMA-2600A系列质量与体积流量控制器在层流场中使用差压原则来确定和控制质量流速。流量计中的层流元件(LFE)迫使气体进入层流。泊肃叶方程规定，在这一区域体积流速与压力下降呈线性关系。使用压差传感器衡量LFE固定距离中的压力下降情况。同时结合气体的粘度准确判定体积流速。引入单独的juedui温度和压力传感器，并根据一系列标准条件纠正气体流速。这种标准流速俗称质量流速，并使用每分钟标准立方英尺(SCFM)或每分钟标准升(SLM)等单位表示。该控制器采用连接到流体的*比例阀，通过一体化PID回路控制器控制流体。标准设备包括0 ~ 5 V输出（可选4 ~ 20 mA）和RS232通讯。可通过前面板键盘或RS232通讯调整气体选择功能和设定值。体积 流量、质量流量、juedui压力以及温度均可以通过RS232连接查看或记录。同时，在距离为46 m (150')的同一串口连接上，****多可与26台设备进行多点通讯。

间接式

      间接式质量流量计有 3种主要型式:速度式流量计与密度计的组合，节流式（或靶式）流量计与容积式流量计的组合，节流式（或靶式）流量计与密度计组合。还有一种根据流体的工作压力、温度将容积流量计的测量值换算成标准状态下的容积流量。但是，当介质的种类或成分改变时，它不能给出准确的质量流量。严格说来，它不属于质量流量计。 输出密度、比重、体积流量、质量流量、质量能量流量等，兼有指示、模拟量输出、打印、越限报警、仪器故障报警等多种功能。

科里奥利

      科里奥利质量流量计（简称科氏力流量计）是一种利用流体在振动管中流动而产生与质量流量成正比的科里奥利力的原理来直接测量质量流量的仪表。科氏力流量计结构有多种形式，一般由振动管与转换器组成。振动管（测量管道）是敏感器件，有U形、Ω形、环形、直管形及螺旋形等几种形状，也有用*等方式，但基本原理相同。下面以U形管式的质量流量计为例介绍。

      热式气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻（铂RTD），一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度；

       另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。