间接式

      间接式质量流量计有 3种主要型式:速度式流量计与密度计的组合，节流式（或靶式）流量计与容积式流量计的组合，节流式（或靶式）流量计与密度计组合。还有一种根据流体的工作压力、温度将容积流量计的测量值换算成标准状态下的容积流量。但是，当介质的种类或成分改变时，它不能给出准确的质量流量。严格说来，它不属于质量流量计。 输出密度、比重、体积流量、质量流量、质量能量流量等，兼有指示、模拟量输出、打印、越限报警、仪器故障报警等多种功能。

科里奥利

      科里奥利质量流量计（简称科氏力流量计）是一种利用流体在振动管中流动而产生与质量流量成正比的科里奥利力的原理来直接测量质量流量的仪表。科氏力流量计结构有多种形式，一般由振动管与转换器组成。振动管（测量管道）是敏感器件，有U形、Ω形、环形、直管形及螺旋形等几种形状，也有用*等方式，但基本原理相同。下面以U形管式的质量流量计为例介绍。

     压力控制器采用金属316L膜片式的传感器，可用于中性油、气体介质和水。控制器的设定值可调，调节范围-0.1 ~ 40MPa量程段任意可选。 防爆型产品防爆标志为Exed II CT6，可用于对感压元件无腐蚀作用的气体、液体或蒸汽等介质IIA、IIB、IIC类CT1~ CT6组****性气体混合物场所实现压力自动控制。

      压力控制器可用于中性或腐蚀性气体和液体介质。设定值范围可调，调节范围为0.02～42Mpa．切换差不可调．压力控制器包括范围比较广品种比较多,有差压控制器,防爆压力开关,防爆差压开关,压力变送器,差压变送器,风压开关,风压变送器。

     质量流量控制器（Mass Flow Co*oller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。  

     S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚****等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；*；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。  S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。