容积式流量计，又称定排量流量计。它利用机械测量元件把流体连续不断的分割成单个已知的体积部分，根据测量室逐次重复的充满和排放该体积部分流体的次数来测量流体体积流量。

      浮子式流量计，又称转子流量计，是变面积式流量计的一种，在一根由下向上扩大的垂直锥管中，圆形横截面的浮子的重力是由液体动力承受的，从而使浮子可以在锥管中自由的上升和下降。

      差圧式流量计 ，是根据安装于管道中流量检测件产生的差压，已知的流体的条件和检测间与管道的尺寸来计算流量的仪表。

      涡街流量计，在流体中安放一根非流线型游涡发生体，流体在发生体两侧交替的分离释放出两串规则地交错排列的游涡的仪表。

    流量控制器是机械式流量开关的一种，也被称之为挡板式流量开关和叶片式流动开关。 流量控制器工作原理是利用水的流动力量带动叶片，来测试管内液体是否流动，当液体在管路内没有流动时，弹簧将磁铁往下压叶片成垂直，此时磁簧开关无动作，接点在常开(NO)位置。当管路内有液体流动且液体流量足以将叶片推高约20°～30°时，叶片上方之偏心传动片将磁铁往上推，而磁铁的吸力使磁簧开关动作，此时接点接通(close)。由于管径的不同叶片长度也要随之调整。 特 点 ：配有5种不同长度的叶片适用于不同管径 不同流量的场所；比较同类产品，可承受较大介质压力；流量大小可调；结构简单，可靠性高；

     质量流量控制器（Mass Flow Co*oller缩写为MFC）用于对气体的质量流量进 行精密测量和控制。质量流量计（Mass Flow Meter缩写为MFM），用于对气体的质量流量进行精密测量。  

     S49系列质量流量控制器和质量流量计特点：采用主体不锈钢（316L）结构，与气体接触部分采用铁素体高耐腐蚀软磁不锈钢、VITON 、聚****等；适用于各种腐蚀性气体；气体流量不因温度、压力的变化而失准；*；重复性好；响应速度快、软启动、稳定可靠；低压降；工作压力范围宽（可以在高压或真空条件下工作）；操作使用方便，可任意位置安装；便于与计算机连接实现自动控制。  S49系列质量流量控制器和质量流量计主要应用领域；半导体制造行业的气体流量控制。