气体质量流量控制器和流量计工作原理流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度和压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量测量电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀，通过闭环控制来控制通过的流量，并使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。

       控制器输出的流量检测到的电压与流过通道的气体质量成正比。满量程检测输出电压为5VDC。气体质量流量控制器的检测范围（量程比为50：1），流量分辨率为0.1%满刻度。  注意: 气体质量流量控制器的“阀控”线置于“清洗”位时也可以当成气体质量流量计使用。这时，流量检测输出电压的输出值可能达到10VDC以上。需要注意的是，一旦输出电压超过5VDC，流量检测电压和实际通过的流量不成线性对应关系。清洗时，流量显示是不准确的，而且还可能出现流量*、显示减小的现象，但这些不会损坏质量流量控制器。

    流量控制器是机械式流量开关的一种，也被称之为挡板式流量开关和叶片式流动开关。 流量控制器工作原理是利用水的流动力量带动叶片，来测试管内液体是否流动，当液体在管路内没有流动时，弹簧将磁铁往下压叶片成垂直，此时磁簧开关无动作，接点在常开(NO)位置。当管路内有液体流动且液体流量足以将叶片推高约20°～30°时，叶片上方之偏心传动片将磁铁往上推，而磁铁的吸力使磁簧开关动作，此时接点接通(close)。由于管径的不同叶片长度也要随之调整。 特 点 ：配有5种不同长度的叶片适用于不同管径 不同流量的场所；比较同类产品，可承受较大介质压力；流量大小可调；结构简单，可靠性高；

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