使用挥发性液体蒸发汽,气压很低,如何定制质量流量控制器的低压降产品:部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用*等),气压很低,用普通MFC,不能正常工作。这时用户需要向供货商特别声明,定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01MPa的MFC,这时MFC的工作压差范围,也会变小。
注意使用挥发性液体蒸发汽时,不能让汽化物在MFC中结露,结露会影响MFC的正常工作。为了****结露,可以对管路和MFC适当加温,但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上,需要特殊购买高温MFC产品。
怎样进行不同气体的质量流量换算:产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的*da期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。
质量流量控制器的工作电源及流量显示和设定等操作由与其配套的流量显示电源提供。
用途与特点编辑:质量流量控制器(Mass Flow Co*oller缩写为MFC)用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
流量计一般分为以下几种类型:容积式流量计; 浮子式流量计;差压式流量计 ;涡街流量计;涡轮流量计;超声流量计;电磁流量计;热式流量计;
一台质量流量计的计量系统包括一台传感器和一台用于信号处理的变送器。Rosemount质量流量计依据牛顿第二定律:力=质量×加速度(F=ma),当质量为m的质点以速度V在对P轴作角速度ω旋转的管道内移动时,质点受两个分量的加速度及其力:
1.法向加速度,即向心加速度αr,其量值等于2ωr,朝向P轴;
2.切向角速度αt,即科里奥利加速度,其值等于2ωV,方向与αr垂直。由于复合运动,在质点的αt方向上作用着科里奥利力Fc=2ωVm,管道对质点作用着一个反向力-Fc=-2ωVm。
当密度为ρ的流体在旋转管道中以恒定速度V流动时,任何一段长度Δx的管道将受到一个切向科里奥利力ΔFc: ΔFc=2ωVρAΔx (1)式中,A—管道的流通截面积。由于存在关系式:mq=ρVA所以:ΔFc =2ωqmΔx (2)因此,直接或间接测量在旋转管中流 动流体的科里奥利力就可以测得质量流量。