用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺，二手真空镀膜机，不但能节省大量的膜

和降低能耗，而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染，因此

国外已经大量使用真空镀膜来代替电镀为钢铁零件涂覆防腐层

保护膜，冶金工业也用来为钢板和带钢加镀铝防护层。

塑料薄膜采用真空镀膜的方法加镀铝等金属膜，再进行染色，

可得到用于纺织工业中的金银丝等制品，或用于包装工业中的

饰品薄膜。

对于矩形磁控溅射靶来说，由于矩形平面磁控靶不像圆形磁控靶那样具有中心对称的性质，阴****靶内的永磁体沿着靶长度方向排列成行，形成以中心线为对称轴的两个磁场。这两个磁场在靶的长度方向上的分布比较均匀，但是在靶的宽度方向上是不均匀的（所以单纯从刻蚀均匀性考虑，靶的宽度越小越好），因此膜厚的分布在沿靶宽度和长度两个方向并不相同。想了解更多离子真空镀膜机|金属表面镀膜机|真空镀膜机设备请联系佛山市佛欣真空设备有限公司

１１２２　真空溅射镀膜

在真空室中，利用荷能粒子轰击材料表面，使其原子获得足够

能量而溅出进入气相，然后在工件表面沉积的过程称为溅射镀

。溅射镀膜的基本原理是，以镀膜材料为阴****，以工件（基板）为

****，镀膜机，在真空条件下，利用辉光放电，使通入的*气电离。*离子

击靶材，二手真空溅射镀膜机，产生阴****溅射效应，钛金炉，靶材原子脱离靶表面后飞溅到基板

形成膜层。为*****气碰撞、电离几率，从而****溅射速率，多

强化放电过程的技术方法被开发和应用，主要包括三****、四****溅

、磁控溅射、对向靶溅射、离子束溅射、射频溅射、反应溅射等。

些内容在相关的书籍中（《表面沉积技术》，王福贞、闻立时，编

）均有较为详细的阐述，这里就不再赘言。