当扩散泵连续使用6个月以上，抽速明显变慢，或操作失当，充入大气，拆去联结水管，卸下电炉盘，将*喷嘴拧出，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水*清洗干净，待水份挥发干以后，装好泵胆，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。在重新开机前，要注意检漏工作：

   具体方法是：启动维持泵，关好大门，数分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈，或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备无法进入工作状态。

当真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。具体操作是：首先用烧碱（NaOH）饱和溶液反复真空镀膜设备擦洗真空室内壁，（ 注意*皮肤不可以直接接触烧碱溶液，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（AL）与NaOH发生反应，反应后膜层脱落，并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢即可。

  真空镀膜机磁控溅射是在阴****靶表面上方形成一个正交电磁场。当溅射产生的二次电子在阴****位区被加速为高能电子后, 并不直接飞向阳****, 而是在正交电磁场作用下作来回振荡的近似摆线的运动。在运动中高能电子不断的与气体分子发生碰撞, 并向后者转移能量, 使之电离而本身变为低能电子。这些低能电子****终沿磁力线*移到阴****附近而被吸收, 从而避免了高能电子对基板的强烈轰击, 一般电子要经过上百米的飞行才能****终被阳****吸收, 磁控溅射的电离效率很高, 易于放电。