当粗抽泵（滑阀泵，旋片泵）连续工作一个月（雨季减半），需更换新油。具体方法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再将泵启动数秒，使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓，加入新油至额定量（油视镜观察）。连续使用半年以上，换油时应将油盖打开，用布擦干净箱内污垢即可。

多弧离子镀膜机的特点：其具有沉积速度快、离化率高、离子能量大、设备操作简单、成本低、生产量大的优点。 其工作原理主要是把真空弧光放电技术用于蒸发源的技术，即在真空环境下引燃蒸发源（阴****），与阳****之间形成自持弧光放电，既从阴****弧光辉点放出阴****物质的离子。由于电流局部的集中，产生的焦耳热使阴****材料局部的爆发性地等离子化，在工件偏压的作用下与反应气体化合，而沉积在工件表面上形成被镀的膜层。

　　真空蒸发镀膜设备的零部件的表面清洗处理是很有必要的；而且存在杂质的情况下，真空部件的链接和密闭性都有受到影响。

　　污染物杂质对真空完全是一种无用的物质，多弧离子镀膜机会根据杂质的状态将其分为固态杂质、气态杂质以及液体杂质，它们微粒的形式存在。从化学的角度看，既可以是离子的也可以是共价的，既是有机的也可以是无机的。

　　显露的外面的表层****容易被污染到，被污染的情况有很多种，一开始一般是由本身运转形成的。

　　要注意表层吸附、化学作用、清洁和晾干等过程、机械在各种运作过程中都有可能产生污渍使表面污染物增加。

　　前期开始注意机器的*与清洁可以减少后期的很多麻烦，****溅控溅射镀膜机各类小状况的发生，可****工作效率、真空镀膜机镀膜的质量也起到相当重要的作用。