超纯水****初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。这种水中除了水分子(H20)外，几乎没有什么杂质，更没有*、病毒、含氯****等有机物，当然也没有*所需的矿物质微量元素，超纯水无硬度，口感较甜，又常称为软水，可直接饮用，也可煮沸饮用。超纯水,是一般工艺很难达到的程度，如水的电阻率大于18MΩ*cm，接近于18.3MΩ*cm则称为超纯水。

超纯水是水分子纯度****高的水，通俗点讲就是只含有水分子(H2O)，不含有其它任何杂质。主要体现是具有导电性能的离子基本不含，其水质电阻值为18.2 MΩ?cm @25℃;另一方面是水体中其它不导电的杂质几乎不含，其中的杂质的含量小于0.01mg/L(TOC：<20ppb 有机物：<0.01AU@254nm 残留固体：<200ppb )。