北京杜克泰克科技有限公司
阿瑞斯VOC空气分子污染物监测系统
产品属性
- 品牌:
- 其他
- 加工定制:
- 是
- 型号:
- 阿瑞斯
- 测量范围:
- 0-200 ppb
- 测量精度:
- 0,1 ppb
- 精确度:
- 2%
- 功率:
- 900W
- 电源:
- 230 Vac
- 适用范围:
- 监测气体含量
- 外形尺寸:
- 160 cm x 60 cm x 80 cm
- 重量:
- 30kg
阿瑞斯-µVOC空气分子污染物监测系统
高达16通道的低于ppb级浓度有机物监测
连续监测@ sub ppb级
空气分子污染物 (AMC) 对于高科技生产过程是关键性因素，特别是微电子行业，有机污染物是生产过程中的消****因素，会导致高科技公司因产品质量问题而产生的成本增加。
无空气分子污染物生产是理想的生产目标，通过污染物源头控制、传播控制，实时监控污染物浓度并结合多级过滤器以及新风系统来实现，持久监测AMC浓度，****于掌握污染物源头、稳定生产、****过滤器突发性寿命减少等。
uVOC-CAM提供给客户一个实时快捷持续的在线空气分子污染物AMC监测方案，不需要采样，离线测量。
检测限达到sub-ppb级
洁净室环境中的空气分子污染物AMC，内部来自建筑材料释出、设备和材料释出、腐蚀和光刻等工艺过程中化学药品逸散、人员产生、管路设备维护修理时散发等，外部来自环境空气中存在的气相污染物，以及洁净室的废气排放重新送回洁净室。
一旦AMC空气分子污染物超标会引起一系列严重后果，比如晶圆废弃、停产、重新净化洁净室等。
空气分子污染物问题:从洁净间到生产机台加工
随着IC产品生产成本的增加，空气分子污染物AMC的监测变得越来越重要。
污染物从加工到超净间的扩散，并且成份的增加，分子污染物来自多个源头，比如生产化学药剂、建筑材料、洁净间设备装置、操作人员等。
µ-VOC 系统意味着潜在鉴别空气分子污染物与产生污染问题和减少污染问题之间的关联，完整的全量程全组份实时sub-ppb级测量，提供早期AMC监测和快速确定这些污染问题的原因。
亮点
一般特点
在线连续质量监测全部自动化系统
低浓度VOC监测
分开测量有机物成份
Sub-ppb检测限
集成计算机和控制软件以及数据采集与处理功能
应用
洁净间污染物监测
过滤器状态监测
加工过程全组份测量诊断污染物
通过成份形成跟踪污染物源头
许多生产过程化学药剂成为污染物的源头，NH3因光刻工艺过程而为****。六甲基二硅胺烷（HMDS）又分解成基硅醇和NH3，等等很多类似的化学药剂的分解与释放，都造成AMC的增加。而实时迅速测量这些成份浓度的µ-VOC 系统可以跟踪污染物形成的时间和路线。
工作原理
GC气相色谱是分离多种复杂混合物常用的技术，这种技术依赖于挥发性有机混合气体在色谱柱的多组份分离。
当不同的挥发性有机物从色谱柱分离出来后通过氢气/空气火焰离子检测器探测电导率的变化，从而确定不同组份的浓度，*的吹扫和载气系统可使仪器达到sub-ppb检测限。
特性:
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工作原理： 测量量程: 准确度： 尺寸 (HxWxD) 防护等级 工作温度: 通讯: 电源: 供气要求: 采样通道: 分辨率: 测量组份: |
GC-FID 0-200 ppb 2% 160 cm x 60 cm x 80 cm Nema 12 或IP54不锈钢外壳 10°C—35 °C RS-232, Ethernet, ODBC 230 Vac, 50/60 Hz 900W CDA 5 l/min H2 130 sccm (可选H2发生器) 高达16 0,1 ppb 高达30, 客户可定制 |
可测组份
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CH3NH2CH2OH CH3NH2C2H4OH （CH3）2CHOH H2NCH2CH2OH C6H11NH2 (-Si(CH3)2O-)n ClC6H4Cl C6H4(C=OOC9H19)2 C6H4(C=OOC10H21)2 (-Si(CH3)2O-)5 (CH3)2C6H4 C3H10OSi |
（CH3）3SiNHSi(CH3)3 (C2H5)2NC2H5OH C6H4(C=OOC8H15)2 C6H4(C=OOC2H5)2
（C2H5）3N C6H4(C=OOC6H11)2 （C2H5O）3P=O (-Si(CH3)2O-)6 （CH3C6H4O）3P=O ------等等 |