复式真空泵(又称活塞式真空泵)归于低真空获得设备，用以从内部压力等于或低于一个大气压的容器中抽除气体，被抽气体的温度一般不逾越35oC。往复泵的****限压力，单级为4×102～103Pa，双级可达1Pa。它的排气量较大，抽速范围15～5500L/S。往复泵多用于真空浸渍、钢水真空处置、真空蒸馏、真空结晶、真空过滤等方面抽除气体。

往复式真空泵对于抽除腐蚀性或富含颗粒状尘埃的气体是不适用的。被抽气体中假设富含尘埃，在泵的进口1处必需加装过滤器。

1、原理：

往复泵的作业原理，如图2所示。泵的首要部件是气缸1及在其间做往复直线运动的活寨2。活寨的驱动是用曲柄连杆机构3来完结的。除上述首要部件外还有排气阀4和吸气阀5。

往复式真空泵原理图

往复式真空泵原理图

1、气罐2、活塞3、曲柄连杆机构4、排气阀5、吸气阀

泵工作时，在电动机的驱动下，通过曲柄连杆机构的效果，使气缸内的活塞做往复运动。当汪室在等舸内从存端向右端话动时。因为气缸的左腔体积不时*，气缸内气体的密度削减，而构成抽气过程，此刻容器中的气体通过吸气阀5进入泵体左腔。当活塞抵达****右方位时，气缸内就完好布满了气体。接着活塞从右端向左端运动，此刻吸气阀5封闭。气缸内的气体随着活塞从右向左运动而逐渐被紧缩，当气缸内气体的压强抵达或稍大于一个大气压时，排气阀4被翻开，将气体排到大气中，完结一个作业循环。当活塞再自左向右运动时，又吸进一部分气体，重复*循环，如此重复下去，直到被抽容内的气体压力抵达恳求时停止。

  干式螺杆真空泵，它利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。它的优势弥补了油封式真空泵的不足，我们都称之为油封式真空泵的升级版。但是干式螺杆真空泵的造价也是它的不足之处。接下来主要介绍它的优点和缺点：

　　干式螺杆真空泵优点：

　　1、工作腔及螺杆转子表面有防腐涂层，可适应恶劣工况2、气体在泵内无压缩，适宜抽取可凝性气体

　　3、不耗油,无滴漏

　　4、结构简单，维护方便。

　　5、被抽气体直接排出泵体，不污染水，无环保压力，气体回收更便捷。

　　干式螺杆真空泵缺点：

　　1、由于螺杆泵加工难度大，我国使用的螺杆泵主要依靠进口，价格非常昂贵。

　　2、不适于抽除含有****性的气体。

　　3、不适于抽除含氧过高的气体。

　　随着我国工业界的发展，在半导体工业、液晶显示器等工艺制造中，对清洁真空环境的要求越来越高，而传统的有油真空泵已经达不到这样的要求了。螺杆型干式真空泵以其抽速范围宽、结构简单紧凑、抽气腔元件无摩擦、寿命长、能耗低、无油污染等优点，得到越来越多制造和应用单位的重视，在干式真空泵市场中占有重要的地位。在欧美和日本等发达*，螺杆型干式真空泵在很多领域已经越来越多的代替了传统的有油泵。