干式真空泵很早就出现了,但没有清晰的定义。就顶替油封式电泵来说,正常通用的言论是:能在大气压到10-2Pa的压力规划内工作;在泵的抽气旋道(如泵腔)中,使不得运用任何废油和液体、排气口与大气相通,能连续向大气中排气的泵,即称为干式真空泵(也称为无油真空泵)。干式真空泵的总结

当初商场上提供的干式泵种类许多。就其根本原理来分,只要两类,即:

①体积式的无油真空泵,比方多级罗茨泵、爪型泵、往复式鞲鞴泵、螺杆式泵和涡旋式泵等。这种干式泵的****限压力正常为0.1～10Pa,抽速为0.01～0.04m3?s。

②动量传输式的无油真空泵,如涡轮式无油泵。排气侧与大气相接,在连续流状态下压缩比较高。它是一种粗抽泵,可从大气压抽到1022Pa。在结构上采用径向流和周向流泵的复合式结构,多级串联抽气。这种涡轮式泵的****限压力约为10-2Pa,抽速为0.02～0.15m3?s。牵引型干式泵也归于动量传输式的干式泵。

该署干式泵和油封式电泵比较,达到相同的****限压力,其剩余气体成一则全然相反,经综合结果明,油封泵的剩余气体,CnHm气体(碳氢复合物气体)为其重要成份,而干式泵的剩余气体为大气的组成成份。这就证明了干式泵的抽气不复有油的净化了。

有些干式泵在结构规划上,如泵的传动齿轮和轴承等仍在运用润滑油,也有用分化油,如PFPE油和其油脂等,并采纳定然的办法使油蒸汽在泵腔内不存在,广大来说不是全无油的泵,但经综合,这种分化油的成份在泵出口处是微乎其微的,并无莫须有。

空泵油应用于真空获得设备中,广泛地应用于如下领域中：

(1) 化工厂真空输液

(2) 港口的固体物料真空运送（如吸粮机）

(3) 渔业的真空吸鱼

(4) 医疗*的真空抽吸

(5) 工业的真空抓具

(6) 工业的真空过滤（用于把液固体混合物分别）如食糖，烧碱，葡萄糖等许多药品

(7) 铸造中的真空密封外型

(8) 食物的真空脱水，真*装

(9) 医药血浆的真空冷冻干燥保存

(10) 纺织品的真空脱水（涤纶的干燥）

(11) 印染的真空去碱

(12) 纸张的真空脱水

(13) 真空绝缘（保温瓶，低温容器）

(14) 真空制冷（蒸汽喷射制冷机）

(15) 真空开关（需要10-4托以上的真空）

(16) 真空冶金

(17) 真空热处理（立式油淬热处理炉）

(18) 电子真空（显象管，电子管，电子显微镜）

(19) 真空镀膜

(20) 高能*的真空