HCE系列光纤光谱仪真空镀膜的监控
光纤光谱仪为真空室内镀膜过程的监控提供了一种灵活的测量手段,它可以方便地把光引入并引出真空室或洁净工作仓,同时选择镀膜过程分析所需要测量的参数。在实际的在线生产中,可以在工作仓中放置几个探头来检测整个生产过程。图示为真空室镀膜过程监控的典型实验布局。在这里一个反射型光纤探头用来在线监测镀膜过程。*-卤素灯发出的光被导入真空室并传导到反射探头上,反射光由反射探头传导到光谱仪中;也可以再增加一个通道作为参考测量来补偿光源的波动。
HPF系列光谱仪测量薄膜厚度
捷扬光电的膜厚测量系统基于白光干涉测量原理,可以测量的膜层厚度10nm-50μm,分辨率为1nm。薄膜测量在半导体晶片生长过程中经常被用到,因为等离子体刻蚀和淀积过程需要监控;其它应用如在金属和玻璃材料基底上镀透明光学膜层也需要测量膜层厚度。配套的捷扬光谱分析软件包括丰富的各种常用材料和膜层的n值和k值,可以实现膜层厚度的在线监测,并可以输出到Excel文件进行过程控制。
捷扬光电HPF系列微型光纤光谱仪用于植被高光谱遥感检测
捷扬HCE系列光谱仪用于植被高光谱检测,在植被中的应用是高光谱的另一个重要的应用。通过遥感确定植物叶子植冠的化学成分来监测大气和环境变化引起的植物功能的变化。植被中非光合作用组分以前用宽带光谱无法测量,现在用高光谱对植被组分中非光合作用组分进行测量和分离则较易实现。BoCai利用木质素和纤维素1172μm的特征吸收作为其判别依据,并根据吸收强度作为这类化合物植冠丰度的一个指数;Johnson等人在分析了美国俄勒冈州中西地区的几块林冠上获取的*IRI高光谱数据和相应林冠冠层生化特性变化的关系后,指出冠层含氮量和木质素的变化与选择的*IRIS波段数据变化存在着一般性对应关系;Maston等使用*IRIS和小型机载成像光谱仪(CASI)数据证实冠层化学成分携有多种气候区生态系统变化过程的信息,并建议从高光谱数据中估计此类信息。 另外,分辨率遥感数据在大比例尺度内进行森林生态系统分类,通过植被物理、化学参数实现对植物生化成分(如N、P、K、淀粉、水分、纤维素、木质素等含量)及其物理特征物理量的估测等。
捷扬光电HPF系列光谱仪仪器高灵敏度和****小的噪音,非常适合高光谱检测。