3408    氮化锆靶材  ZrN磁控溅射材料 电子束镀膜蒸发料 

【参数说明】

支持靶材定制，请提供靶材产品的元素、比例（重量比或原子比）、规格，我们会尽快为您报价！！ 

【产品介绍】

氮化锆  Zr-N  化合物随着成份的变化而有多种晶体结构，如:在Zr-N合金体系中，已发现的合金化合物有ZrN、o-Zr3N4、c-Zr3N4。它们不但具有优异的化学性质，不仅可以用在Josephson结，扩散式迭层，低温度计等，还可以使用在三维集成电线圈，金属基晶体管上。同时这些Zr-N化合物在和腐蚀等方面优于纯锆，而且具有较高的超导临界温度，所以可以有可能成为很好的超导体，具有很高的使用价值。

【关于我们】

服务项目：靶材成份比例、规格、纯度均可按需定制。科研单位货到付款售后无忧！

产品附件：发货时产品附带装箱单/质检单/产品为真装

适用仪器：多种型号磁控溅射、热蒸发、电子束蒸发设备 

质量控制：严格控制生产工艺，采用辉光放电质谱法GDMS或ICP光谱法等多种检测手段，分析杂质元素含量保证材料的高纯度与细小晶粒度；可提供质检报告。 

加工流程：熔炼→提纯→锻造→机加工→检测→包装出库

陶瓷化合物靶材本身质脆且导热性差，连续长时间溅射易发生靶裂情况，绑定背靶后，可提高化合物靶材的导热性能，提高靶材的使用寿命。我们强烈建议您，选购陶瓷化合物靶材一定要绑定铜背靶！

我公司采用高纯铟作为焊料，铟焊厚度约为0.2mm，高纯无氧铜作为背靶。

注  ：高纯铟的熔点约为156℃，靶材工作温度超过熔点会导致铟熔化！绑定背靶不影响靶材的正常使用！

建议：陶瓷脆性靶材、烧结靶材，高功率下溅射易碎，建议溅射功率不超过3W/cm2。

我公司主营金属靶材、陶瓷靶材、合金靶材，欢迎您的垂询。