背景

某客户铝件样品阳****后，阳****膜表面表面出现了严重的黑线异常，且黑线分布较多、明显，缺陷不良率约为1.0%。特委托优尔鸿信检测超精密量测实验室分析其微观形貌，配合查找黑线产生之原因。

优尔鸿信检测超精密实验室拥有3D光学干涉仪、探针轮廓仪等超精密设备，能为企业提供表面粗糙度、纳米级别的微观尺寸、3D形貌分析、透明/半透明膜厚等测试，帮助企业解决一系列产品开发、生产过程中出现的各种异常状况。

分析方案：

1.超精密实验室3D光学轮廓扫描

2.异常表面与正常表面粗糙度参数(sa)对比

3.分析黑线表面形貌,确定该处断差

分析步骤：

1.基材表面粗糙度对比

注：

Sdq：轮廓均方根斜率

Sp：轮廓峰高Max

Sv：轮廓谷深Max

Sz：轮廓高度Max

◆从粗糙度参数判断,黑线处与正常处无明显差异

2.阳****膜表面粗糙度对比

◆从粗糙度参数判断,黑线表面与正常表面的差异在于Sdq参数,该参数越小越是表示样品表面具有良好的反射性,黑线表面的Sdq远高于正常表面,故反射光能力很差,****终造成视觉上的差异。

3.3D扫描图-基材表面

◆如图所示：基材出现轻微凸起异常

4.确定基材凸起深度

5.3D扫描图-阳****膜表面

如图所示：黑线区域阳****膜出现凹陷异常

6.确定阳****膜凹陷深度

结论：

1.黑线异常出现在阳****膜表面。

2.黑线处呈现凹陷的段差。

3.凹陷处轮廓均方根斜率(Sdq) 异常,该异常是引起视觉差异的主要原因。

4.凹陷是由于在阳****制程中局部腐蚀不均匀导致基材表面凹凸起伏,建议****制程使阳****膜均匀覆盖在基材表面。