M系列 是用于特征的电镀厚度测量的产品。 M系列中的多毛细管光学元件比 O系列，将X射线束聚焦到15μmFWHM。 为了测量该比例的功能，随附了具有更高数字变焦的150x放大倍率相机。 更高的放大倍率会限制视野，因此台摄像机拍摄了要测量零件的宏观图像。 双摄像头系统使操作员可以看到整个零件，单击图像以使用高磁摄像头放大，并要测量的特征。

精度可编程XY平台可用于选择和测量多个点; 模式识别软件也可以自动执行该操作。2-D连续扫描功能可查看硅片等部件表面区域的涂层形貌。

标准配置包括15μm光学器件和高分辨率SDD检测器，以处理更高的计数率。 可编程XY样品台也是标准配置